气相沉积前驱体
CAS号：10026-04-7
品名：四氯硅烷Tetrachlorosilane
中文别名：氯化硅(IV);
英文别名：(1303)SILICONCHLORIDE;Dinitridedisiliconoxide;siliconoxynitrile;siliconchloride;MIXTUREOF86%DICHLORODIMETHYLSILANEAND14%SILICON(IV)CHLORIDE;SAMARIUM,FOIL;SILICONTETRACHLORIDEFORSYNTHESIS;silicontetrachloride;SILICON(IV)CHLORIDE;SiliconTetrachloride;TETRACHLOROSILANE;SILANE,TETRACHLORO-;SILICONTETRACHLORIDE;Perchlorosilane;tetra-chlorosilane;Silicon(IV)chloride;SILICONTETRACHLORIDE,REAGENT(50ML);Siliconoxynitride;SILICIUMTETRACHLORID,EXTRAPURE;
分子式：Cl4Si
分子量：169.898
精确质量：167.852
Psa：0.0
RTECS号：VW0525000
EINECS号：233-054-0
MDL号：MFCD00011229
外观与性状：无色或淡黄色冒烟的液体
密度：1.483g/mLat 25°C(lit.)
沸点：57.6°C(lit.)
熔点：−70°C(lit.)
闪点：57.6°C
折射率：1.413
稳定性：Stability Moisture sensitive - reacts violently with water. Incompatible with water, acids, bases, alcohols, alkali metals, organics, powdered metals.
储存条件：库房通风低温干燥,与碱类、食品添加剂分开存放
蒸汽压：420 mm Hg ( 37.7 °C)
安全说明：S26-S7/8-S45-S36/37/39-S28-S27
危险类别码：R14; R36/37/38
WGK Germany：1
海关编码：2827399000
危险品运输编码：UN 3264 8/PG 2
危险类别：8
包装等级：II
危险品标志：Xi
信号词：Danger
危险性防范说明：P280; P301 + P310 + P330; P303 + P361 + P353; P304 + P340 + P310; P305 + P351 + P338; P403 + P233
危险标志：GHS05, GHS06
危险性描述：H314; H332; H335; H336; H351; H373
简介：四氯化硅是化学式为SiCl4的无机化合物，1823年由永斯·贝采利乌斯首次发现。
用途：用于制造有机硅化合物，如硅酸酯、有机硅油、高温绝缘漆、有机硅树脂、硅橡胶和耐热垫衬材料。高纯度四氯化硅为制造多晶硅、高纯二氧化硅和无机硅化合物、石英纤维的材料。军事工业用于制造烟幕剂。冶金工业用于制造耐腐蚀硅铁。铸造工业用作脱模剂。四氯化硅是生产高纯硅的副产物。它不仅是生产光纤预制棒的主要原料，还是无机硅、有机硅、橡胶工业的主要原料，用于电子、航空、精密铸造等领域。用于制取纯硅、硅酸乙酯等，也用于制取烟幕剂。
